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patsnap:第三代半导体-氮化镓GaN技术洞察.pdf

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第三代半导体-氮化镓(GaN) 技术洞察报告 2021 insight of Innovation in Wide bandgap semiconductor(GaN) industry 氮化镓技术概况 ⚫ 技术简介 ⚫ 技术发展现状 ⚫ 技术创新概况 2 氮化镓 (GaN)简介 氮化镓材料定义: 氮化镓 (GaN)主要是由人工合成的一种半导体材料,禁带宽度大于2.3eV ,也称为宽禁带半导体材料 ➢ 氮化镓材料为第三代半导体材料的典型代表,是研制微电子器件、光电子器件的新型材料 禁带宽度(eV) 第三代半导体 氮化镓 (GaN) 碳化硅 (SiC) 2.3 第二代半导体 砷化镓 (GaAs) 宽禁带、高击穿电场强度和 1.4 第一代半导体 磷化铟 (InP) 高热导率,具有可见光至紫 硅 (Si) 外光的发光特性。适用于半 1.12 锗 (Ge) 高频性能较好,广泛应用 导体照明、高压、高频、大 功率领域 于卫星通信、移动通信和 GPS导航等领域。但资源 产业链成熟、成本低,适用 稀缺,有毒性,对环境危 于低压、低频、中功率场合, 害较大 是目前半导体器件和集成电 路主要制造材料 3 氮化镓(GaN)技术及产业链已初步形成,相关器件快速发展 LED大规模商用化、 萌芽阶段 初始阶段 飞速发展阶段 功率/射频器件快速发展 1969年 1986年-1994年 1998年- 2007年 2008年-至今 技 术 发 日本科学家Maruska等 1、1986年,赤崎勇和天野 1、1998年,美国Cree公 1、2008年,美国Cree公司 1、2014年,英飞凌收购 人采用氢化物气相沉 浩采用MOCVD法获得了 司开发首个碳化硅基GaN

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