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嘉世咨询-光刻机行业简析报告
光刻机
行业简析报告
版权归属 上海嘉世营销咨询有限公司
MARKET
ANALYSIS
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光刻工艺流程图01. 光刻机是芯片制造中的最核心环节
光刻工艺流程图
? 光刻机是生产芯片的核心装备 ,被誉为半导体工业皇冠上的明珠。光刻机是一种投影曝光系统:光刻机由光源 、照明系统 、物镜 、工件台等部件组装而成。在芯片制作中 ,光刻机会投射光束 ,穿过 印有图案的光掩膜版及光学镜片 ,将线路图曝光在带有光感涂层的硅晶圆上。
? 芯片制造过程需要用到的设备种类繁多 ,包括氧化炉 、涂胶显影机在整个半导体芯片制造过程中 ,光刻是最复杂工艺 ,光刻工艺的费用约占
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