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轮廓扫描干涉测量仪与法布里-珀罗标准具
干涉测量作为最重要的光学测量技术之一已在各领域得到广泛应用。我们将介绍两个示
例，利用轮廓扫描干涉仪测量表面形貌和利用Fabry-Pérot标准具实现光谱测量。得益于非
序列扩展功能，这两个应用所采用的系统在VirtualLab中可以轻松地实现设置。不仅可以
清晰地对其工作原理进行描述及可视化，利用非序列场追迹技术更能够快速且精确地对这类
系统进行分析。
轮廓扫描干涉测量仪
利用低相干氙灯光源，迈克尔逊干涉仪可以精确扫描给定样品的表面轮廓。
interference [2um shim]
interference [1um shitl
interference [Oμm shil
detector
height contour
干涉等高线对应
pecmmn 于被测样品的高
度轮廓
shift
6m
faed min
25ym
利用标准具检查钠灯D光
在VirtualLab Fusion中使用非序列场追迹技术建模二氧化硅间隔标准具，并用将其于
测量钠D光。
a btmtm
iavpt phercallian
silca-spoced
ctaion
S?8995mm
sodumDhe 5950mm
0588.995mm8569.502nm
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