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静电卡盘(2)具备:具有晶片载置面(4a)的陶瓷制的板(4);在厚度方向上贯通板(4)的顶针孔(10、20、30);用于产生静电力的正负一对电极(正极(6)和负极(8))。板(4)具有假想地分割为顶针孔的数量的分割区域(A1、A2、A3)。正极(6)和负极(8)在每个分割区域具有以从接近顶针孔的正极起点和负极起点分别出发并遍及整个分割区域的方式并列地设置的正负一对涡旋状电极部(16、18、26、28、36、38)。正极(6)是将各分割区域的正的涡旋状电极部(16、26、36)在板(4)的外周部连
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113574652 A
(43)申请公布日 2021.10.29
(21)申请号 202080021416.5 (74)专利代理机构 北京银龙知识产权代理有限
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