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本发明涉及光刻胶涂覆技术领域,且公开了一种ITO玻璃基板光刻胶涂覆设备,包括:底座,所述底座的顶端固定安装有仪器筒壁,所述底座的顶端中部活动安装有中轴支撑传动杆,所述中轴支撑传动杆的顶端滑动安装有活动球形轴承。本申请提供的一种ITO玻璃基板光刻胶涂覆设备,通过设置行星架、行星齿轮、齿圈、太阳齿轮、调节基座等部件,实现在不需额外提高玻璃基板的转速且不需要额外再增加光刻胶剂量的情况下,可以进一步提高光刻胶旋涂效率,加快涂覆工作的效果,通过设置固定架、第一活塞体、以及第二活塞体,使玻璃基板可稳定运转,
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116643460 A
(43)申请公布日 2023.08.25
(21)申请号 202310411401.5 B05C 11/10 (2006.01)
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