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本实用新型公开了半导体生产用蚀刻加工设备，包括U字托架以及龙门架，U字托架的底部安装有X轴伺服直线模组，且X轴伺服直线模组的移动端安装有承载半导体工件的工件托板，龙门架的顶端通过Y轴导向结构滑动安装有电机架，且电机架一侧的外壁上固定有Z轴立板，电机架的底部安装有带动Z轴立板移动的Y轴齿轮移动结构，Z轴立板一侧的外壁上通过Z轴导向结构滑动安装有固定板。本实用新型使得感光油均匀通过雾化喷头均匀覆盖在半导体工件上，省去了工作人员手动涂抹感光油的操作，保证了感光油厚度的一致性，使得半导体工件可充分感光显
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219540632 U
(45)授权公告日 2023.08.18
(21)申请号 202223350830.6
(22)申请日 2022.12.14
(73)专利权人 武汉凯思维科技有限公司
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