洁净区环境监测规程完整.docx

洁净区环境检测规程 1目的 规定洁净区的控制指标和检测方法，有效的控制洁净车间和实验室洁净区环境的洁净度，满足 生产和检测环境的要求。 2范围 本规程适用本公司洁净区环境的洁净度检验。 3职责 化验员负责洁净环境检测各项技术要求的检验。 4.工作程序 4.1检验项目 温度、湿度、压差、风速（换气次数）、尘埃粒子数、菌落数。 4.2温度、湿度 4.2.1要求 洁净区温度（18-28 ）P,相对湿度（45-65 ） % 4.2.2仪器与设备 温湿度计 温湿度计必须在检定合格周期内 4.2.3操作方法 目测温湿度计 4.2.4测定频次 1次/班 4.3 压差 4.3.1要求 洁净室与室外压差N 10Pa，洁净室与非洁净室N 5Pa，不同级别洁净室之间N 5Pa。 4.3.2仪器与设备 微压计微压差计或手持式数显压差计须在检定合格周期内。 4.3.3操作方法用微压计或数显压差计测试各室的静压力，由两室静压力之差，为静压差。 4.3.4测定频次 1次/月 4.4换气次数/风速 4.4.1要求如表1所示： 表1各级别洁净区风速的技术指标 级别 100级 10000 级 100000 级 300000 级 风速 m/s 水平层流 :>0.4 垂直层流 :>0.3 换气次数 次/h >25 > 15 >12 4.4.2仪器与设备 风速计风速计必须在检定合格周期内。 4.4.3操作方法 4.4.3.1用风速计距风口下25cm处测量风速，采样点为风口的四个顶角及中心位置（不少 于 5点）。计算5个点风速平均值，为一个风口的风速。 4.4.3.2换算公式： （高效送风口风速 高效送风口面积） 换气次数 换气次数 被测房间体积 4.4.4测定频次： 1次/月 4.5尘埃粒子数 4.5.1要求如表2所示： 表2各级别洁净区尘埃粒子数的技术指标 级别 100级 10000 级 100000 级 300000 级 尘埃数 3 粒/m > 0.5 5 <3500 <350000 < 3500000 > 5.0 5 0 <2000 < 20000 <60000 4.5.2仪器与设备 尘埃粒子计数器 4.5.3内容 1） 用尘埃粒子计数仪在高度0.8米水平面上的位置采样，总采样次数不少于5次。 2） 最少采样点数目的确定如3表所示： 面积表3：最少采样点数目 面积 洁净度级别 积；对于10000级以上的单向流洁净室（区），面积知道是房间面积。 （3）采样点的位置 采样点一般在离地面0.8m高度的水平面上均匀布置。 采样点多余5点事，也可以在离地面0.8m至1.5m高度区域内分层分布，但每层不少于5 点。 采样点分布见附录A （4） 采样次数的限定 对任何小洁净室（区）或局部空气净化区域，采样点的数目不得小于2个，总采样次数不得 少于5次。每个采样点的采样次数可以多余一次，且不同采样点的采样次数可以不同。 （5） 采样量 不同洁净度级别每次最小采样量见表4表4最小采样量 最小采样量 L/次 洁净度级别 100级 10000 级 100000 级 300000 级 N0.5 n m 5.66 2.83 2.83 2.83 N5.0 n m 8.5 8.5 8.5 8.5 （ 6 ） 采 样 注 意 事 项 对于单向流洁净室（区），粒子计数器的采样管口应正对气流方向；对于非单向流洁净室 （区），粒子计数器的采样管口宜朝上。 布置采样点是应尽量避开风口。采样时，测试人员应在采样口的下风侧，并尽量少活动。 采样完毕后，宜对粒子计数器进行自净。应采取一切措施防止采样过程的污染。 4.5.4采样结果的计算 （1）采样点的平均悬浮粒子浓度A采样点的平均悬浮粒子浓度A的计算公式： 式中： A一某一采样点的平均粒子浓度，粒每立方米（粒/m） ^一某一采样点的粒子浓度（i=1,2,3，…，n），粒每立方米（粒/m3）n一某一采样点的采 样次数，次 （2）平均值的均值M平均值的均值M的计算公式： 式中: 平均粒子浓度（i=1,2,3，…，n）M一平均值的均值，即洁净室（区）的平均粒子浓度，粒每平方米（粒 平均粒子浓度（i=1,2,3，…，n） L一某一洁净室（区）内的总采样点数，个 （3）标准差SE 标准差SE的计算公式： ()()()() () 式中： SE一平均值均值的标准误差，粒每平方米（粒/m3） （4） 95%置信上限（UCL） 95%置信上限（UCL）计算公式： UCL-平均值均值的95%置信上限，粒每平方米（粒/m3） t -95%置信上限的t分布系数，见表5 采样点数 采样点 数L 2 3 4 t 6.31 2.92 2.35 5 6 7 8 9 >9 2.13 2.02 1.94 1.90 1.86 注：当采样点数多于9时，不需要计算UCL