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第11章 其他精密与特种加工技术 ;11.1 功率超声光整加工;11.1.2 功率超声研磨;11.1.3 功率超声抛光; 11.1.4 功率超声压光;11.2 化 学 加 工;11.2.1 化学铣切加工;;;11.2.2 光化学腐蚀加工;11.2.3 化学抛光;;11.2.4 化学镀膜;;11.3 水射流及磨料流加工技术;;11.3.2 水射流加工工艺及应用;;11.4 等离子体加工;;11.4.2 材料去除速度和加工精度 ;11.4.3 设备和工具;11.4.4 实际应用;11.5 挤 压 珩 磨;11.5.1 基本原理;11.5.2 挤压珩磨的工艺特点;;11.5.3 黏弹性磨料介质;11.5.4 夹具;11.5.5 挤压珩磨的实际应用;11.6 光 刻 技 术; ;11.6.2 光刻加工应用及关键技术;;11.6.3 光刻技术的极限和发展前景;;11.7 磁性磨料加工;11.7.1 加工原理;11.7.2 磁性磨料;11.7.3 加工工艺参数对加工质量的影响;;;11.7.4 应用实例;;第11章 其他精密与特种加工技术 ;11.1 功率超声光整加工;11.1.2 功率超声研磨;11.1.3 功率超声抛光; 11.1.4 功率超声压光;11.2 化 学 加 工;11.2.1 化学铣切加工;;;11.2.2 光化学腐蚀加工;11.2.3 化学抛光;;11.2.4 化学镀膜;;11.3 水射流及磨料流加工技术;;11.3.2 水射流加工工艺及应用;;11.4 等离子体加工;;11.4.2 材料去除速度和加工精度 ;11.4.3 设备和工具;11.4.4 实际应用;11.5 挤 压 珩 磨;11.5.1 基本原理;11.5.2 挤压珩磨的工艺特点;;11.5.3 黏弹性磨料介质;11.5.4 夹具;11.5.5 挤压珩磨的实际应用;11.6 光 刻 技 术; ;11.6.2 光刻加工应用及关键技术;;11.6.3 光刻技术的极限和发展前景;;11.7 磁性磨料加工;11.7.1 加工原理;11.7.2 磁性磨料;11.7.3 加工工艺参数对加工质量的影响;;;11.7.4 应用实例;;
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