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本实用新型公开了一种具有除尘功能的硅靶材研磨装置,包括研磨机本体和除尘组件,所述研磨机本体顶部设置有一集气罩,该集气罩顶部两侧对称设置有两组气泵,所述除尘组件设置于该集气罩顶部中心,且所述除尘组件通过所述气泵与所述集气罩连通,所述除尘组件顶部设置有定位架。有益效果在于:本实用新型通过下压顶杆以带动集尘袋进入箱体内并实现翻转,从而将集尘袋内外壁进行调换,以将集尘袋内粘附的粉尘翻转到集尘袋外侧,而后通过上下抽动连杆以带动刮板移动,从而通过刮板上的刷毛孔对集尘袋上粘附的粉尘进行扫除,集尘袋的清洁过程无
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210360835 U
(45)授权公告日
2020.04.21
(21)申请号 20192
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