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本发明公开了一种超高温陶瓷蜂巢及其在多晶硅工艺硅粉收集中的应用,属于多晶硅生产技术领域。超高温陶瓷蜂巢包括基材和过滤膜,基材采用多通道壁向流流体模型,即蜂窝结构体,过滤膜通过等离子喷涂技术均匀的喷涂在蜂巢滤砖一侧的开口内流道表面;将喷涂好的过滤膜层进行微波干燥,然后置于真空烧结炉内在1600~1700℃下烧结而成。本发明的陶瓷蜂巢能够提升3倍以上的过滤精度,采用等离子膜喷涂工艺,高温烧结后的碳化硅膜过滤精度可以达到0.3微米,从而有效的拦截所有低于1微米的细硅粉。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116655388 A
(43)申请公布日 2023.08.29
(21)申请号 202310917007.9 C01B 33/02 (2006.01)
(22)申请日 2023.07.
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