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本发明公开了平面靶材基体烧结用承载放置机构,涉及靶材基体生产技术领域,包括安装架,所述安装架的内壁滑动设置有若干个用于放置靶材基体的承托板,所述承托板上设置有若干个等距排布的定位单元,所述定位单元包括定位槽,所述定位槽的下方设置有若干个导引台,所述导引台的顶面倾斜设置并滑动连接有定位块,所述定位块的底部与导引台的顶面相互平行并贴合设置;本发明通过设置若干个承托板,实现对大批量靶材基体的同步装填,减少装填频次,提高烧结操作效率;通过设置定位单元对靶材基体进行限位,同时保证了各个靶材基体在承托板上的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116465204 A
(43)申请公布日 2023.07.21
(21)申请号 202310330095.2
(22)申请日 2023.03.30
(71)申请人 先导薄膜材料(安徽)有限公司
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