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本发明提供一种基于时域分析法的介质厚度估计方法,该方法增加了对照组实验进行对比分析计算,避免了传统时域分析法时域选通带来的误差,误差来源仅为时域分辨精度,该精度可由chirp‑z逆变换进行优化。并且本方法跳过了介电常数的计算,直接得到介质的厚度,不再考虑介质本身的组成,在介质有损或者介质多层的情况下也能较为精准的计算出介质的厚度。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115143875 A
(43)申请公布日 2022.10.04
(21)申请号 202210742453.6
(22)申请日 2022.06.28
(71)申请人 电子科技大学
地址 611731
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