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本发明公开一种HfO2基铁电隧道结神经突触器件及其制备方法。该HfO2基铁电隧道结神经突触器件包括:衬底,同时作为底部电极;铁电叠层,形成在所述衬底上,包括氧化锆种子层,HZO薄膜以及氧化铝覆盖层;顶部电极阵列,形成在所述铁电叠层上,以所述顶部电极阵列作为人工神经网络的突触前膜,所述底部电极作为人工神经网络的突触后膜,通过对所述顶部电极阵列和所述底部电极施加电学刺激,实现人工神经网络的放电时间依赖可塑性:当顶部电极受到的刺激早于底部电极,出现突触的长时程增强,反之,则出现突触的长时程抑制。通过优
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113346018 A
(43)申请公布日 2021.09.03
(21)申请号 202110628044.9
(22)申请日 2021.06.06
(71)申请人 复旦大学
地址 20
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