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扩散炉结构简介;CONTENT;基本构成—centrotherm;炉体部分—centrotherm; 炉体部位包含炉体，控制柜和电源柜三个部分。 炉体部位包含五根炉管，控制柜里面包含着负责工艺程序执行的CESAR电脑,CMS和温度控制器，电源柜负责供给整个机台所需的动力电源。;动力柜;CCC控制电脑与CMS CCC控制电脑（ Cell Control Computer ）中包含用于创建和管理recipe的软件CCC-RM（Centrotherm Cell Control Recipe Manager）,用于对CESAR电脑进行集中控制。 CMS （central machine safety），错误监视单元，用于监视炉内，炉外，炉体及电路的温度和冷却系统的工作状况，并将结果显示在CMI电脑用户界面上。 ;CESAR控制电脑;控制柜;Spike TC;Spike TC;炉门控制系统-TGA;Load station;; 1.桨托的形状和作用：centrotherm的桨托起到固定桨的作用，而桨的高低位则通过升降整个传送系统来实现；; 2.桨的传送方式：centrotherm是利用固定在一侧的传送皮带带动桨托运动； ; 3.lift的运动方式：centrotherm的lift能实现上下和前后运动，石英舟的左右运动则是依靠下方的传送带实现；; 4.储存架的位置数量：centrotherm的储存架位于lift同一位置，一共七个（由于储存架尚未安装，此数量是从store架的形状看出）； ; 5.控制方式：centrotherm的装载系统，recipe管理系统，程序运行和执行均由同一显示界面控制； ; 6.配置：centrotherm装载系统顶部有一个冷却箱，配有真空吸笔接口；; 7. 净化风机位置：位置相同，都位于装载系统下部，但形状不一样。 ;Gas cabinate—centrotherm; Centrotherm气源柜可以分为如下几个功能区：尾气瓶放置区，bubbler放置区，磷源温度和液位监视区，气体控制区，热排，酸排，冷却水供给及净化区。其位置如图所示。; ;Bubbler放置区;源温及液位监控区; ;气体冷却水系统;酸排，热排系统;控制及监控系统; centrotherm主要控制系统的组成和作用如下： 1. CMI 计算机 每个机台一个，用于控制装卸系统并显示 CMS和CESAR电脑 2. CMS （central machine safety） 错误监视单元，用于监视炉内，炉外，炉 体及电路的温度和冷却系统的工作???况，并将结 果显示在CMI电脑用户界面上，系统对偏差的响应 可设置。 ;3. CESAR 控制电脑（每个炉体一个） 作用： 1） 创建或更改recipe 2） 定义recipe变量（工艺时间，温度， 压力，气流） 3） start，stop and cancel recipe 4） 数字控制温度 5） 控制气流 6） 装载机组参数设置 7） 与装卸系统进行通讯 8） 监视报警/中断状况（气流，温度，压力） 9） 通过级联控制器控制温度 10）通过级联温度控制进行自动拉温 11）存储一定数量的recipe 12）记录用户定义的工艺数据 13）对正在运行的工艺进行测试（执行工艺步骤，更改变量，设置/重置停止点等）; 4. Cell controller 其中包含用于创建和管理recipe的软件 CCC-RM（Centrotherm Cell Control Recipe Manager）,用于 对CESAR电脑进行集中遥控。 5. Temperature controller 采用REG97温度控制器，硬件部分由 controller，transducer，pulse skipping unit组成。 6. PLC（Programmable Logic Controls） 设备中装有三个PLC 一个用于控制整个机台的气体流量