- 1、本文档共7页,其中可免费阅读6页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本实用新型公开了一种激光辅助镀金刚石薄膜的工艺装置,其中主要由激光发射器、透镜、石英窗口、工艺气进气管、光束阻挡器、衬底、衬底支架、抽气阀门、外接真空系统、水冷系统和镀膜腔体组成。所述激光发射器位于镀膜腔体正上方,通过透镜和石英窗口将激光光束引入镀膜腔体内部,工艺气体在激光激发的作用下等离子化,经过等离子化的气体溅射到基材上,使基材表面上形成等离子体羽辉,从而形成金刚石薄膜。本实用新型是通过改变反应气体的介质和流量比,实现SP2和SP3型金刚石复合化和纳米化。本实用新型采用激光激发镀膜沉积速度可
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210367899 U
(45)授权公告日
2020.04.21
(21)申请号 20192
1亿VIP精品文档
相关文档
最近下载
- 【精品奥数】三年级上册数学思维拓展训练课件-第四讲 解决问题 人教版(共14张PPT).pptx VIP
- 四年级上册数学课件4《两种常见的数量关系》 人教新课标 .pptx VIP
- 国家开放大学《数据结构(本)》单元测试参考答案.pdf
- 河北省工程建设标准设计12系列建筑标准设计图集12n 6热.pdf
- 纳米材料在癌症治疗方面的应用现状及展望.doc VIP
- 【医院】消毒供应中心清洗消毒及灭菌效果监测标准PPT.ppt VIP
- 冠心病病人的护理查房PPT课件.pptx VIP
- 20xx《科技改善生活》主题班会教案内容收集.docx VIP
- 第四篇 受弯构件.ppt
- 柴油发动机结构及其原理介绍.ppt
文档评论(0)