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本发明提供一种用于测量材料的物理性质的系统,其包括:沉积单元、引线键合单元、变温电输运测量单元以及气体净化单元;其中,所述沉积单元、引线键合单元、变温电输运测量单元通过样品转移通道连通;所述气体净化单元与所述沉积单元、引线键合单元、变温电输运测量单元通过气体循环通道气密性连通,以使得所述系统构成气体循环回路;所述沉积单元包括通过真空闸板阀密封连通的电极沉积准备单元和电极沉积单元;所述系统还包括用于样品进入和离开所述系统的样品进出管道。本发明的测量系统具有成本节约、易于维护和操作简单的特点,并且特
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114965866 A
(43)申请公布日 2022.08.30
(21)申请号 202110208277.3
(22)申请日 2021.02.24
(71)申请人 中国科学院物理研究所
地址 100
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