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一种溅射膜层检测装置,包括平行光源、单缝挡板和屏幕;单缝挡板包括板体和可进行镀膜的测试板,在板体上设有长条孔,测试板安装在长条孔内,并与长条孔形成狭长的单缝。本膜层检测装置利用单缝衍射原理,平行光源在经过衍射缝后,在屏幕上会衍射出明暗相间的干涉条纹,通过对干涉条纹宽度的测量得到测试板在镀膜前和镀膜后的单缝宽度,进而通过相减得到镀膜的厚度。此外,本膜层检测装置还可以通过对镀膜前、镀膜后干涉条纹的明暗分界线形状的对比,检测镀膜的均匀度。由于应用于本膜层检测装置的检测方法不需要破坏取样和制样,对基板、
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116465317 A
(43)申请公布日 2023.07.21
(21)申请号 202310475211.X
(22)申请日 2023.04.28
(71)申请人 洛阳汇晶新材料科技有限公司
地址
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