DB32T3459-2018石墨烯薄膜微区覆盖度测试 扫描电子显微镜法.pdf

ICS 17.040.20 Q 53 备案号：60497-2018 DB32 江 苏 省 地 方 标 准 DB32/T 3459—2018 石墨烯薄膜微区覆盖度测试 扫描电子显微 镜法 Measurement of micro-scale coverage of graphene film by scanning electron microscopy 2018 - 11 - 09 发布 2018 - 11 - 30 实施 江苏省质量技术监督局 发 布 DB32/T 3459—2018 石墨烯薄膜微区覆盖度测试 扫描电子显微镜法 1 范围 本标准规定了扫描电子显微镜法测定石墨烯薄膜微区覆盖度的测试准备、SEM测试、图像处理及覆 盖度计算等。 本标准适用于化学气相沉积法制备的各种金属基底上的、由于生长原因未完全覆盖的、畴间距小于 200 um的石墨烯薄膜微区覆盖度的测定。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。 凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 JJG （教委）010 分析型扫描电子显微镜检定规程 ISO/TS 80004-13:2017 纳米科技 - 术语 - 第 13 部分：石墨烯及相关二维材料 (Nanotechnologies-vocabulary-part 13：Graphene and related two-dimensional （2D）materials) 3 术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 3.1 石墨烯 graphene 由一个碳原子与周围三个近邻碳原子结合形成蜂窝状结构的碳原子单层。 注1：它是许多碳纳米物体的重要构建单元。 注2：由于石墨烯仅有一层，因此通常被称为单层石墨烯。石墨烯缩写为1LG，以便区别于缩写为2LG 的双层石墨 烯和缩写为FLG 的少层石墨烯。 注3：石墨烯有边界，并且在碳-碳键遭到破坏的地方有缺陷和晶界。 [ISO/TS 80004-13:2017, 3.1.2.1] 3.2 未覆盖区域 uncovered area SEM图像中重复出现的灰度最小，且表面没有褶皱的区域。 3.3 覆盖区域 covered area SEM图像中未覆盖区域之外的其他区域。 3.4 微区覆盖度 micro-scale coverage 1 DB32/T 3459—2018 在微区范围中，石墨烯所覆盖的基底面积与总基底面积之比。  注1：微区范围为500 um 500 um 以内。 注2：表面的损伤、杂质等不计入微观覆盖度范围。 3.5 封闭覆盖区域 graphene island area 由封闭边缘环绕且边缘内部被石墨烯完全覆盖的区域。 3.6 封闭未覆盖区域 vacancy island area 由封闭边缘环绕且边缘内部未被石墨烯覆盖的区域。 3.7 扫描电子显微术 scanning electron microscopy(SEM) 电子束扫描样品表面，通过检测和分析所获得的物理信息（例如