一种基于聚乙烯膜的悬臂梁式VOC气体传感器及其制作方法.pdfVIP

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2023-06-25 发布于四川
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一种基于聚乙烯膜的悬臂梁式VOC气体传感器及其制作方法.pdf

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本发明提出了一种基于聚乙烯膜的悬臂梁式VOC气体传感器及其制作方法，该方法包括以下步骤：步骤一、制作悬臂梁，所述悬臂梁包括支撑层、粘结层以及功能层；步骤二、制作传感器腔室；步骤三、调整激光器与定焦相机，建立检测光路；步骤四、连接气路，使用微型气泵将待测气体从样品袋中泵出，送入传感器腔室；以及步骤五、搭建传感器检测线路进行检测，检测线路上连接湿度传感器、电源、数据传输线、气体采样袋、气泵、计算机等，其中湿度计、流量计、摄像头都由电脑端自编程序统一、实时读取。本发明利用简单的、低成本的制作方法即可获

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116297443 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202310034723.2 (22)申请日 2023.01.10 (71)申请人南京邮电大学地址 210023