MMIC在片测试探头的性能测试.pdfVIP

的s参数。根据测量结果和传输线的s矩阵．可以得到一组关卜s。。、S，SI、的方程 组，求解方程组后得到个微探头的S参数． 在该方法中．睦|于一对：教探头的S参数不完全相问，传输线特性阻抗不精确．以 及校准和测量的误差．都会一《得到的微探头s参数不准确． 另外一种方法是：首先茁参考甲而l(Planel)进行刚轴的单端[j校确．：然后接被测 有式fI)： r=：S¨+一S21塑!!生 1一n{$22 式(1)可改写为： 8S22_△：! 上‰S+r n rL (2) 其中，△=Sll+S22一S12‘S21，对互易器件有S12=s2J。 在ru、r。2和r。3三种负载下，测得反射系数r、、r：、r，，得到下列方程组 _Lrl一1 r1 rLl Fu 上r2—1 F2 11L2 *㈢ n。2 』．r3—1 F3 r1， r11 从中司解得S¨、S：：、S：， 上述的测量一样存在误差，主耍是使用的标准负载的误差。给出标准负载的偏差 值，可以计算测量误差。 、探头性能的快速测试 快速测量精度较低，但司方便快速地判断探头特性。当用一个已知反射系数的元 件作为探头电接触点端的负栽时，微探头可等效为一个单端口网络，表示如图2。 7T 薯Vi rL portl port2 (SMA) tj (probeps) 图2 等效单端1]网络 493 当负载的反劓系数为11。，往端V-I1测得的反射系数r为 r：NI，．塑塑垫 l'FL}S3二 A、探头反别系数的测量 用匹配负载作为负载测鼍时。『1，=0，式(4)褒为 11==S 凶此测得的反射系数刚如探头的反射系数。 实际测量中，负载不是理想匹配．因此测量存在误差。～般地，探头的反射系数 S22较小，rL也很小，因此S2：+PL很小，l—S：2十rL≈l。式(4)变为： r=S11+S21+Sl2+F。 探头是互易网络，S：。=S。 当r 001t L2 0064。若S11=0I，则相对测量 S2l=StfI}8，S2=0】时，P=Sll+0 误差为6％。 从式(6)还可以看到，测量误差与s。+S，：+r。成正比，测量结果比真实值稍大。负 载反射系数越小或探头插损越欠．测量误差越小。 B、探头插损的测量 用短路负载作为负载测量时．r。=～i，式(4)变为： r．二‰一i!!!塑 f7) l+S22 当