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本发明属于半导体器件技术领域,提供一种用于光学瞄准镜的尺寸可调的发光芯片及其制备方法,所述发光芯片包括外延片;所述外延片自下而上依次包括衬底、底层外延层、有源层和顶层外延层;所述外延片的表面设置有刻蚀区和若干个发光区,所述刻蚀区铺设有绝缘介质层,绝缘介质层自顶层外延层延伸至底层外延层;各发光区同心设置且自内向外依次排布,各发光区之间由绝缘介质层隔开,对应每个发光区在顶层外延层上设置有电极;当所述发光芯片作为光源应用在具有分光镜的光学瞄准镜中时,相邻两个发光区在分光镜处形成的入眼光源图形交叠为一个
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117613168A
(43)申请公布日2024.02.27
(21)申请号202410099688.7H01L33/08(2010.01)
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