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一种超快激光并行加工系统，包括激光器、光束传输系统和光束预整形系统，还包括光束时空调制系统和光束实时调制软件，所述的光束时空调制系统包括反射镜、聚焦镜、空间光调制器，所述的光束实时调制软件作用于所述的光束时空调制系统上，通过所述的光束时空调制系统对激光光束进行时空调制,空间聚焦用于调制光束的静态特性，调制光束峰值光强和累积能量，时间聚焦用于调制光斑的动态特性，调制光斑的动态位移和变形，经过调制的激光光束到达材料表面，实现对材料的加工。本发明能实现时空同步聚焦，空间聚焦用于调制光束的静态特性，调制
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116944668 A
(43)申请公布日 2023.10.27
(21)申请号 202310901375.4
(22)申请日 2023.07.21
(71)申请人 中国科学院上海光学精密机械研究
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