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本实用新型属于半导体或光伏材料加工技术领域,公开了一种石英反应腔内壁镀膜的装置,可用于在石英反应腔的内壁形成热膨胀系数渐变缓冲层,其中石英反应腔具有进气口和出气口以将反应气体充入或抽离石英反应腔,石英反应腔内壁镀膜装置还包括电感线圈,电感线圈附着在石英反应腔外部;该装置还具有移动驱动部,移动驱动部连接电感线圈和/或石英反应腔,以能够使电感线圈和石英反应腔在石英反应腔的轴向方向上相对运动。在石英反应腔内激发真空环境下的反应气体放电产生高密度等离子体,通过沉积过程中调节通入不同成分或比例的反应气体,
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219653123 U
(45)授权公告日 2023.09.08
(21)申请号 202320542973.2
(22)申请日 2023.03.20
(73)专利权人 拉普拉斯新能源科技股份有限公
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