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本申请公开了一种全自动四维移动校准装置,包括X轴位移平台、Y轴位移平台、Z轴位移平台和用于安装基材的基材夹具,所述Y轴位移平台安装于所述X轴位移平台上,通过所述X轴位移平台驱动所述Y轴位移平台线性移动,所述Z轴位移平台安装于所述Y轴位移平台上,通过所述Y轴位移平台驱动所述Z轴位移平台线性移动,所述基材夹具安装于所述Z轴位移平台上。本申请通过X轴位移平台、Y轴位移平台、Z轴位移平台使基材实现自动化移动,使基材与探测光始终保持平行,并使基材尽可能靠近探测光,从而确保稳定的获取热信号的反馈峰值,本申请
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219641565 U
(45)授权公告日 2023.09.05
(21)申请号 202320579675.0
(22)申请日 2023.03.22
(73)专利权人 湖南纳昇电子科技有限公司
地址
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