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本发明提供了一种基于光波导效应的氧化镓薄膜及其制备方法,该制备方法通过限定薄膜中晶体的形态来提升氧化镓薄膜在特定入射光频段透射率的方法。包括如下步骤:第一步,采用磁控溅射的射频模式,保持本底真空、工作压力、溅射功率、时长、气氛工艺参数为特定值,利用薄膜结构与溅射温度之间的强烈依赖关系,设定最优溅射温度,溅射制备出截面有明显纳米柱结构的氧化镓薄膜。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114990505 A
(43)申请公布日 2022.09.02
(21)申请号 202210366065.2 H01L 33/44 (2010.01)
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