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本申请涉及谐振器技术领域,公开一种声表面波谐振器,包括:压电衬底,用于声电换能;压电衬底的外表面设置有叉指电极结构;叉指电极结构,通过施加电压以激励声电换能;叉指电极结构包括两个汇流条和垂直连接汇流条的多个电极指;第一活塞部,设置在有效区域靠近连接部的边缘;有效区域为电极指中属于有效孔径的区域;连接部为第一活塞部所处电极指连接的汇流条;第二活塞部,设置在各电极指的末端所处区域;第二活塞部与第一活塞部的俯视形状不同。这样,能够使得声波在声表面波谐振器的不同区域具有更大的声速差,从而更好地抑制声表面
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116582100 A
(43)申请公布日 2023.08.11
(21)申请号 202310651156.5
(22)申请日 2023.06.02
(71)申请人 深圳新声半导体有限公司
地址 5
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