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本发明提供了一种晶圆托盘夹持组件、固定系统及固定方法,所述的晶圆托盘夹持组件包括定位件与夹持本体,所述定位件的一侧表面设置滑动凸起,另一侧设置固定台,所述夹持本体的一侧开设有活动凹槽,另一侧设置弧形限位槽,所述的滑动凸起嵌入所述的活动凹槽内,实现所述定位件与夹持本体的活动连接。本发明通过滑动凸起与活动凹槽的相互作用,优化了晶圆托盘的装夹方式,由传统压板固定方式改为侧面压板固定,能有效控制晶圆托盘的平面度及平行度。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116469829 A
(43)申请公布日 2023.07.21
(21)申请号 202310563937.9
(22)申请日 2023.05.18
(71)申请人 宁波江丰芯创科技有限公司
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