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一种基于二氧化硅/聚合物嵌入波导平台的多端口波导交叉器件及其制备方法,属于光子集成芯片制备技术领域。由Si衬底、SiO2下包层、聚合物芯层、聚合物上包层组成,聚合物芯层被包埋在SiO2下包层之中,聚合物芯层上表面与SiO2下包层上表面位于同一平面,聚合物上包层位于聚合物芯层和SiO2下包层之上;聚合物芯层为多通道交叉波导结构,由N个在中心点交叉的1×1多模干涉器形成星形结构。将光在多模干涉区内的第一个自映像点作为波导交叉器件的中心点,此处的光汇聚在一个和输入端相同尺寸的光场中,最大程度的限制了光
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115308839 A
(43)申请公布日 2022.11.08
(21)申请号 202210954058.4
(22)申请日 2022.08.10
(71)申请人 吉林大学
地址 130012 吉林
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