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本申请实施例公开了一种冗余填充方法,所述方法包括:形成第一堆叠结构,所述第一堆叠结构包括下部位线层和存储堆叠层;对所述第一堆叠结构沿第一方向进行刻蚀,以形成沿第二方向交替排列的第一间隙和第一相变结构体,所述第一方向垂直于所述第二方向;所述第一相变结构体包括第一功能结构和第一冗余结构;在所述第一间隙中填充隔热材料,以形成的填充层;对所述填充层进行平坦化处理,并去除所述第一冗余结构。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113312870 A
(43)申请公布日 2021.08.27
(21)申请号 202110359995.0
(22)申请日 2021.04.02
(71)申请人 长江先进存储产业创新中心有限责
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