集成电路装备离子注入机离子源智能柔性自动化生产线项目环评表.pdf

项目概述 工程内容及规模： 1. 项目主要内容 1.1建设单位基本情况、项目内容 上海西普瀚芯电子科技有限公司（原名上海西普钨钼业制品有限公司），位于上 海市宝山区春和路518号，是一家专业从事离子注入机离子源研究及产品开发应用 的高新技术企业。离子注入机是生产集成电路芯片的主要生产设备，其设备的核心 在于离子源离化起弧，解决了脆性金属材料难以加工的问题。 企业于2006年进行了环境影响评价工作，通过了环评以及试生产的审批（宝环 审2006 登记表721号；宝环[2007]试-068 号）。于2007 年 11月通过了上海市宝山 区环境保护局的验收审批 （宝环保管验[2007]198号）。 后因技术改造，于2011年与2012 年分别进行了环境影响评价工作，并分别于 同年通过了上海市宝山区环境保护局的审批 （宝环保许报告表[ ][2011]277 号；宝环 保许[登记表][2012]782 号）。于2016年5 月通过了上海市宝山区环境保护局的验收 审批 （沪宝环保许[2016]344 号）。 随着集成电路自主化、国产化进程加快，其主体生产设备——离子注入机的需 求爆发。目前公司生产状态为小批量多品种，人工控制为主。核心材料钨材料是脆 性物质，产品加工时对技术人员操作要求极高。造成目前企业一直无法实现规模化、 产业化。另外经过几年的发展，西普公司已经拥有了的核心技术、核心工艺拥有其 知识产权，为此企业拟投资1000 万元，在现有车间内新增一条集成电路装备离子注 入机离子智能柔性自动化生产线，以实现标准化模块化生产，突破瓶颈，达到符合 国际最高标准的生产加工条件，以人工智能、机器人技术为引导，完成产业化。另 外为实现加工模具标准化设计，增加线切割机床、数控车床等设备。项目建成后， 7.1 / 离子注入机离化起弧室内的零部件加工能力增至 万件 年，装配总成能力增至 2800套。 1.2本项目需要重点关注的内容 本项目为高端金属零部件的加工，主要生产工艺为机加工。主要关注的环境问 题为：项目与工业园区规划相容性；新增清洗废水利用现有设施处理达标排放可行 1 性；设备噪声是否满足厂界噪声控制标准；固体废物是否按照环境管理要求合理处 置。 1.3 编制依据 根据 《中华人民共和国环境影响评价法》、《建设项目环境影响评价分类管理名 44 < > 录》（环境保护部令第 号）、《关于修改 建设项目环境影响评价分类管理名录 部 分内容的决定》（生态环境部令第1号）及《<建设项目环境影响评价分类管理名录> 2018 “ —67 上海市实施细化规定 （ 版）》，本建设项目属于 二十二、金属制品业 金属 制品加工制造—其他 （含集装箱 （罐）清洗项目；除仅切割组装外）”，应编制环境 影响报告表。为此，建设方委托上海悦土环保科技有限公司对该项目编制环境影响 报告表。根据《上海市建设项目环境影响评价分类管理重点行业名录（2019年版）》， 本项目属于一般项目。 2. 建设地点、性质 本项目建设地点不变，仍位于上海市宝山区春和路518号厂区内。生产设备均位 1 3 2 3 于厂房 层，车间设备布置图详见附图 。厂房 层 层均为仓库及办公区域。 厂区周边多为生产厂家，东为上海泉江实业有限公司，南邻六里塘，西是上海申 月电力安装工程有限公司，北靠上海京昌防火卷帘门有限公司。 建设项目性质：改扩建 2.1环保责任主体和环保考核边界 ①环保责任主体 本项目环保责任主体为：上海西普瀚芯电子科技有限公司 ②环保考核边界 废水：为纳入厂区污水管网前的污水总排放口 噪声：上海西普瀚芯电子科技有限公司所在厂区四周边界