磁控溅射镀膜多年经验总结.pdf

2/20/2020 磁控溅射镀膜多年经验总结 - 百度文库 网页 资讯 视频 图片 知道 文库 贴吧 采购 地图 | 百度首页 登录 VIP新客立减2元 意见反馈 下载客户端 黑色实验总结 黑色实验总结 1 1、材料对比 、材料对比  TiC  ⑴ TiC  ⑴ 首页 分类 精品内容 申请认证 机构合作 频道专区 会员中心 TiC TiC 是最常见、最经济的一种黑色硬质膜。颜色可以做到比较深，耐磨性能也很好，但其色 是最常见、最经济的一种黑色硬质膜。颜色可以做到比较深，耐磨性能也很好，但其色 百度文库 专业资料 工程科技 调不够纯正，总是黑中略带黄色。并且由于钛的熔点相对较低，在溅射时易出现大的颗粒， 调不够纯正，总是黑中略带黄色。并且由于钛的熔点相对较低，在溅射时易出现大的颗粒， 使其光令度不易得到改善。防指印的能力也不好，擦后变黄、变朦。 使其光令度不易得到改善。防指印的能力也不好，擦后变黄、变朦。  CrC  ⑵ CrC  ⑵ CrC TiC TiC CrC 的总体色调相对 TiC 要好，虽然达不到 TiC 那样黑，但更纯正，带白。由于铬在溅射时 的总体色调相对 要好，虽然达不到 那样黑，但更纯正，带白。由于铬在溅射时 直接由固态直接变为气态，故虽然铬的溅射系数很大，膜层沉积速率很快，但其光令度却比 直接由固态直接变为气态，故虽然铬的溅射系数很大，膜层沉积速率很快，但其光令度却比 TiC TiC Cr TiC 好。防指印性能也比TiC 好。Cr 为脆性材料，膜层的残余应力对耐磨性能的影响尤为重 好。防指印性能也比 好。 为脆性材料，膜层的残余应力对耐磨性能的影响尤为重 要。 要。  TiAlC  ⑶ TiAlC  ⑶ TiAlC 由于铝有细化晶粒的作用，所以TiAlC 膜层的光令度和防指印的能力均较好。但是铝的熔点 由于铝有细化晶粒的作用，所以 膜层的光令度和防指印的能力均较好。但是铝的熔点 TiAlC 很低，要求铝靶的冷却效果要好，施加在铝靶上的功率也不能太大。从 TiAlC 膜层本身来说， 很低，要求铝靶的冷却效果要好，施加在铝靶上的功率也不能太大。从 膜层本身来说， 也要求铝的含量要低，不然不够黑。但如果铝靶的功率太低，很容易中毒。建议采用平面铝 也要求铝的含量要低，不然不够黑。但如果铝靶的功率太低，很容易中毒。建议采用平面铝 靶或使用一定铝含量的铝钛合金靶材。 靶或使用一定铝含量的铝钛合金靶材。  TiCrAlC  ⑷ TiCrAlC