光电显示用高均匀超净面玻璃基板关键技术与设备开发及产业化.doc

PAGE 6 附件.“光电显示用高均匀超净面玻璃基板关键技术与设备开发及产业化”项目公示材料 国家科学技术进步奖 （2018年度） 一、项目基本情况 项目名称 光电显示用高均匀超净面玻璃基板关键技术与设备开发及产业化 主要完成人 李青、刘文泰、孙诗兵、斯沿阳、王丽红、周波、郑权、李震、胡恒广、王俊明 主要完成单位 东旭集团有限公司、北京工业大学、芜湖东旭光电装备技术有限公司、武汉理工大学、芜湖东旭光电科技有限公司、郑州旭飞光电科技有限公司、石家庄旭新光电科技有限公司 提名者 河北省 提名意见 二、项目简介（限1200字） 该项目属于新一代信息技术的平板显示领域，涉及TFT-LCD（薄膜晶体管液晶显示）用玻璃基板关键技术、核心设备及产业化应用。 面板是以两片玻璃基板为载体，在其表面进行TFT（薄膜晶体管）制程和CF（彩膜）加工，制成TFT-LCD，被用于电视机、显示器、平板电脑、手机等信息终端产品制造。 目前，TFT-LCD已经成为平板显示主流产品，玻璃基板占显示面板总成本的20%左右，是面板成本最高的部件，因此成为平板显示关键性基础材料。在我国TFT-LCD产业初期阶段（2005-2010年），几乎所有材料全部依赖进口，严重阻碍了我国显示产业的转型与发展。 玻璃基板制造因技术复杂、难度高、投资大，代表当今玻璃最高制造水平，其生产技术和产品被美日公司高度垄断。玻璃基板必须满足面板制造工艺和终端产品显示质量要求，既要满足高应变点、低膨胀系数、低密度、高化学稳定性等严苛的理化性能要求，又要满足光学级内在质量和超纯净无瑕疵外观质量要求。 为了突破玻璃基板制造关键技术，实现国产化，打破垄断，该项目自主立项。经历10余年产学研合作，进行协同开发，解决了玻璃基板中的微小气泡消除和细小条纹均化、消除表面划痕和微米级颗粒污染、克服热收缩和翘曲变形等影响TFT制程和面板显示效果的技术难题，形成了如下创新成果： 1）发明了结构独特的“五仓型”铂金通道设备，在国内率先实现玻璃液精密处理技术，生产的玻璃基板内在质量（光学级均匀性）达到国际高端产品质量；2）开发了“水吸差动法”边角精密研磨加工技术，实现了玻璃基板的超纯净无损加工；3）发明了理化性能与工艺性能兼优的玻璃基板化学组成及配方，全面满足TFT制程要求及高端显示器件应用；4）开发了专用的制造执行系统，在国内外率先实现了玻璃基板生产流程的全要素信息采集，智能分析与决策，数字化工艺改进和品质管控。 该项目工作取得授权发明专利38项，获省级科学技术进步一等奖2项、中国专利金奖1项，软件著作权6项，牵头制定国家标准5项。经第三方检测与专家评价，该项目成果总体技术达到国际先进水平。 截至2017年6月，该项目成果已推广应用至3家企业17条生产线，近三年形成新增销售额约136.3亿元、新增利润约34.9亿元，为下游产业节约近2000亿元成本。该项目推动我国玻璃基板产业从无到有、从弱到强，成为全球第三个掌握玻璃基板核心技术的国家，改变了全球玻璃基板和显示产业的格局。现在我国平板显示已占全球产量30%，成为具有竞争实力的全球第一生产大国，玻璃基板为我国光电显示产业的高速发展和产业安全起到重要支撑作用。 三、客观评价 一、验收意见 （1）“十二五”国家科技支撑计划 “触摸屏特种玻璃、液晶玻璃基板生产技术应用开发”课题方向二：“G8.5代液晶玻璃基板技术研发”验收专家组意见 2017年3月26日，中国建筑材料联合会组织专家对“十二五”国家科技支撑计划课题“触摸屏特种玻璃、液晶玻璃基板生产技术应用开发（2013BAE03B02）”课题进行了验收，对方向二：“G8.5代液晶玻璃基板技术研发”形成如下意见： “研发了环保轻质型TFT-LCD玻璃基础配方、碎玻璃破碎设备、窑炉自平衡锁紧机构、铂金通道环境系统等内容，完成了G8.5代液晶玻璃基板生产线全套图纸设计，基本达到任务书要求，专家组建议课题通过验收”。 （2）国家智能制造装备发展专项“TFT-LCD玻璃基板数字化车间建设项目”验收意见 2015年5月28日，受国家发改委委托，河北省发改委、河北省财政厅和河北省工信厅组织相关技术及经济专家组成验收组， 对石家庄东旭光电装备技术有限公司、石家庄旭新光电科技有限公司共同承担的“TFT-LCD玻璃基板数字化车间建设项目”进行了验收。验收意见认为：“产品厚度为0.5mm，玻璃边缘直线度≤±0.05mm，玻璃直角度<1/1000，玻璃表面粗糙度=Rmax100?，设备综合利用率由78%提升到89%以上。”“各项性能指标已达到批复文件的要求”， 验收组同意通过验收。 二、鉴定意见 （1）“无碱高铝硼硅酸盐玻璃铂金通道关键技术与设备开发及推广应用”成果评价 2017年4月22日，中国光学光电子行业协会液晶分会组织欧阳钟