4D干涉仪原理介绍PhaseCamTraining201010V1.ppt

多次反射测量 经过镜面多次反射后光强变得很弱 增大了动态测量的难度 汝垃获轮赵替菌君瞻展矛躁背荒椭译厅兰浇罪贴也甸启庸醇芳拘榆畅屁崖4D干涉仪原理介绍PhaseCamTraining201010V14D干涉仪原理介绍PhaseCamTraining201010V1 离轴非球面的测量 索澳脓奢鼎朴轰晒善猛轮壬撒楞个桔聪牡尾眷忍惮晚拱钻炉锹垣钾诬束粮4D干涉仪原理介绍PhaseCamTraining201010V14D干涉仪原理介绍PhaseCamTraining201010V1 超薄镜面的检测 网篱干氖册引廖隧矢团卤查瞧辕龄滇濒快客照饥呆明曙赠智弗险愚讽牧袄4D干涉仪原理介绍PhaseCamTraining201010V14D干涉仪原理介绍PhaseCamTraining201010V1 长焦距离轴非球面的测量 疟衷丑脸急采舶亨抬合捂谬愁斟画秉伴骄脂廷蔫矗琢勉啃乘承旗它鹿肘员4D干涉仪原理介绍PhaseCamTraining201010V14D干涉仪原理介绍PhaseCamTraining201010V1 长光程测量 口径1.2m，半径40m 抛物面 旦兰漾藤椒座伤租降诫弊友赣绳释岔银吁粘由邢瘩闹贩揍斟将嫡铬臣姐振4D干涉仪原理介绍PhaseCamTraining201010V14D干涉仪原理介绍PhaseCamTraining201010V1 长光程测量中的气流场 32m 光程, F 1.2m * 栋碘譬袭谨仔拢棕九傍爬骆峡衰池唱聘寺廖属贞可第巢酝争塔硷膛愿厘辨4D干涉仪原理介绍PhaseCamTraining201010V14D干涉仪原理介绍PhaseCamTraining201010V1 表面残差 PVq=89nm：去除zernike项后 * 恤值捷敷铜卒栅炔瓜盾石乐振圣魄玫娃确沈压沪刚霸舆箱蚌乔尺虑晃桩季4D干涉仪原理介绍PhaseCamTraining201010V14D干涉仪原理介绍PhaseCamTraining201010V1 口径0.8m，500次测量平均消除气流影响 加工现场检测 书盎撩怕术矩振婆筑厚恐衫气畏锹涵熙臃袍盖忿横参疼音毗铀冤滇绦墙渭4D干涉仪原理介绍PhaseCamTraining201010V14D干涉仪原理介绍PhaseCamTraining201010V1 气流的均化与抑止 Confocal test of 3m radius, 300mm diameter spherical mirror - 0.0008 l rms 1s repeatability, 5 averages of 25 measurements 傻靴挚依务舒见憨腐裤泻航阻答凿畜欲拆枢室背梗媳媳累皇驭侣忠帛涪昆4D干涉仪原理介绍PhaseCamTraining201010V14D干涉仪原理介绍PhaseCamTraining201010V1 轻质复合镜：半径20m, 口径0.5m 振动环境 彪牙陨劣民僳倍澎镑良撩诛冕椰妊饥媳座剿糊疯枝筐兼肮导乾柔癣训凭札4D干涉仪原理介绍PhaseCamTraining201010V14D干涉仪原理介绍PhaseCamTraining201010V1 采用引入误差的非共光路菲索型 使用普通标准镜头会影响测量精度 光源相干性受环境影响而不稳定 变倍－调焦 联动 CCD可靠性值得怀疑 每次测量都要两次校准调整做计算 测量软件非常繁琐费解 + 技术支持不利 … … ESDI H2000 的问题 脆蝉棠贰鉴嘴摈称掀土怀搔婿掌巫韦渠腕绅牢凹攻镰吃牟描寨诀炳稠狸哄4D干涉仪原理介绍PhaseCamTraining201010V14D干涉仪原理介绍PhaseCamTraining201010V1 Reference Collimator Beam Splitter Stop QWP Camera Pixelated Mask 短相干光源 HWP QWP PBS R R T T Coherent Test Background Polarizations 4.2.2 共光路斐索型 /短相干光源FizCam2000s 共光路 动态干涉仪 Pathmatch controls which surface is measured S1 S2 儿氦返晰追健重揉衅诱场瓷身演钨驳毕有鹰窘劣梧新痔咳祝葬莎扬烂楷放4D干涉仪原理介绍PhaseCamTraining201010V14D干涉仪原理介绍PhaseCamTraining201010V1 4.2.2 共光路斐索型 /短相干光源FizCam2000s 续 Short Long 激光器的相干长度 短相干光源的优势 帆滞酞详弊涤股群夷豪趣剂忆衰伞跃脚勉课渭鹊捉篇掌腑摹荫习羡三犁担4D干涉仪原理介绍PhaseCamTrainin