UL1000Fab技术手册v2.pdf

UL1000Fab 技术手册 第 1 页 共 109 页 技 术 手 册 2003 年 3 月 11 日 2.0 版 UL1000 Fab 氦 检 漏 仪 1 UL1000Fab 技术手册 第 2 页 共 109 页 目录 1 一般信息 1.1 本手册使用符号 1.1.1 安全符号 1.1.2 指示符 1.1.3 真空符号 1.1.4 术语定义 1.2 INFICON 服务的支持 1.2.1 维修中心 1.3 前言 1.3.1 用途 1.3.2 技术参数 物理参数 电气参数 其它参数 环境条件 1.4 开箱 1.4.1 设备供货范围 1.4.2 附件与选件 吸入器管线 SL200 工具箱 氦气瓶支架 ESD 垫层 手持单元 2 安装 2.1 运输 2.2 就位 2.3 电连接 2.3.1 供电电源 2.3.2 数据采集系统的连接 附件 数字输出 数字输入 记录仪 RS232 手持单元 2.4 真空连接件 2.4.1 进气口 2.4.2 排气 2.4.3 放空 2.4.4 冲洗/气镇 3 初始运行检查 3.1 需要的设备 3.2 初始运行说明 3.2.1 启动与测量 0-2 2 UL1000Fab 技术手册 第 3 页 共 109 页 3.2.2 内部校准 3.2.3 验证 4 说明和工作原理 4.1 前言 4.2 UL1000Fab 的组件 4.2.1 真空系统 4.2.2 控制面板 液晶显示器 启动按键 停止按键 抑零按键 菜单按键 软键 数值输入 4.3 工作模式 4.3.1 真空模式 4.3.2 吸入器模式 5 UL1000Fab 的运行 5.1 显示屏 5.2 起转模式中的显示屏 5.3 测量模式中的显示屏 5.3.1 校准的调用 5.3.2 扬声器音量 5.3.3 显示屏的状态线 5.3.4 数值显示模式 5.3.5 趋向模式 6 菜单说明 6.1 主菜单 6.2 一览 6.2.1 线性/对数刻度 6.2.2 显示范围 自动/手动 6.2.3 时间轴 6.2.4 对比度 6.2.5 待用模式中的本底 6.2.6 小数点位数 6.2.7 漏率过滤器 6.3 模式 6.4 触发与警告 6.4.1 触发值 1 6.4.2 触发值 2 6.4.3 音量 6.4.4 单位 6.4.5 警告延迟