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本发明提供了一种带有短路金属线电极结构的调制器,包括:衬底、绝缘介质层、共面波导行波电极、多个具有不同掺杂浓度的脊型光波导以及金属线组;所述绝缘介质层设置在衬底上,多个具有不同掺杂浓度的脊型光波导设置在绝缘介质层上;每个脊型光波导通过通孔与共面波导行波电极相连;所述共面波导行波电极中所有的地电极通过通孔与金属线组连接;所述金属线组包含通过周期性排布的金属线。本发明中的调制器通过短路金属线结构抑制了共面波导行波电极中寄生模式的产生,有效优化了微波信号的传输损耗频率响应曲线,有利于高速光通信中高质量
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117908306A
(43)申请公布日2024.04.19
(21)申请号202410110993.1
(22)申请日2024.01.26
(71)申请人之江实验室
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