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直拉单晶操作规程

拉晶工艺流程包括拆炉清炉清理石墨件装

炉抽空冲氩气熔硅料引晶放肩

转肩投自动等径收尾停炉

1.拆炉:准备好不锈钢推车，（车面保持干净）专用擦试布，无水

乙醇及相应的工具。先拧开副室门螺丝,打开副室氩气阀门充气,待真

空表压力到零位置时,炉内外气压平衡,开启副室门,把晶棒升至副室

内,升起副室炉筒,转副室炉筒时必须把托盘移至副室以下,防止晶棒

脱落.然后旋转副室移至取晶框上,稳定晶棒后,快降晶体至取晶框内.

待晶棒与接晶框落稳后，然后带手套抓住细颈稍带点力向下攥,用钳

子把细颈剪断,再慢慢松细颈，直至钢丝绳搞正完全消失（防止钢丝

绳转圈导致钢丝绳开叉），查看一下钢丝绳是否完好，如开叉或断股

要剪掉一段，必要时需更换新钢丝绳。检查重锤表面是否有氧化层，

如有，必须用细砂纸打磨干净，然后带好专用手套取出导流筒,保温

盖,三瓣埚,石墨托盘,托杆,送至清石墨件房,待自然冷却后进行清理,

特别注意托杆上有无硅点情况,(防止没有清理干净,与托杆护套摩擦

在拉晶过程中液面抖动.)

2.清炉与清石墨件:清理炉子的副室炉筒,小副室,炉盖,炉筒,用长

纤维纸,酒精把以上部位全部擦拭干净,做到长纤维纸擦拭过后无污

迹。每炉必清排气口,以免造成排气口堵塞,挥发物过多;用吸尘器吸干

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净保温罩与加热器上下的挥发物,吸净碳毡上的毡毛。需保证在晶体

的生长过程中尽量避免不起毛，无挥发物等杂质进入料中。清理石墨

件的时候必须注意观察石墨埚的厚度，能不能达到要求，是否有裂纹

等。把石墨件上的挥发物与一些杂质清理干净。若石墨件上溅有硅料，

应用什锦挫或细沙布打磨除去，必要时用砂轮机打磨。注意：清理石

墨件的时候必须注意轻拿轻放，防止造成内裂！

3.装炉：安装石墨件时各部位应相互吻合牢固，发现异常及时进

行修正，打开埚转，观察石墨埚转动是否平稳，四周与加热器的间距

是否匀称，检查取光孔是否对准，检查与钢丝绳软轴是否有异常。装

炉应按其程序规范操作：原料准备检查石英坩埚打开

原料袋去掉外层塑料袋，然后准备装炉。炉前人员必须检查核对所装

炉的原料与母合金，是否准确无误。检查石英埚，保证无大量气泡群，

无损伤，内表面无黑点，如有异常，标识清楚，由大班长确认后方可

更换。把石墨件按次序装入炉内，穿好防尘服，戴好防尘帽，戴上棉

手套与两层一次性手套，用氩气吹一下石英坩埚内壁后装入石墨埚

内，再用蘸有少量酒精的纤维纸擦拭干净，给上埚转，观察坩埚是否

水平，保证水平的情况下才能装炉。装料时必须轻拿轻放，先在底部

平铺一些小硅料，然后把一些大块的料轻放在中间，再把一些小料放

在大块料的中间，填大料缝隙。避免小料与坩埚接触面积过大，这样

容易造成料粘埚边上导致石英埚变形。把硅料装好后，再把导流筒用

蘸有酒精的纤维纸擦拭一遍。给上埚转后把埚降至化料埚位。然后装

入导流筒，避免与硅料直接接触。检查无误后安装籽晶，将位置摆正，

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插好销子，稍用力往下拽，以免籽晶与钼销因未接触而悬空，同时每

炉检查钢丝绳是否老化。擦净主炉室，副炉室，小副室的密封圈面