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本发明提供声表面波滤波器的制作方法及声表面波滤波器,形成多个金属电极,每个金属电极上具有凸出部,形成压电衬底,压电衬底上设置有压电凹槽,通过粘合剂将压电凹槽与凸出部匹配粘接,将四个金属电极与压电衬底进行键合,形成声表面波滤波器。本发明通过分别批量生产具有凹槽的压电衬底和带凸出部的金属电极,增加键合的接触面积,增大附着力,简化生产工艺,提高生产效率,通过键合的方式形成声表面波滤波器,键合不同几何形状的金属电极与不同的压电衬底材料,形成不同类型的声表面波滤波器,可满足不同的滤波需求。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116827289 A
(43)申请公布日 2023.09.29
(21)申请号 202310556496.X H10N 30/088 (2023.01)
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