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本实用新型涉及一种温控输送装置,温控输送装置包括:控温机构、取放机构与传热件。上述温控输送装置在使用时,在对晶圆进行加工的过程中,由于需要对晶圆所处的环境进行温度控制,因此通过控温装置保证晶圆处理设备内部的温度。然后,待晶圆在晶圆处理设备内部加工完成后需要转移时,通过取放机构对晶圆处理设备内部的晶圆进行转移,同时由于传热件能够传递控温机构的热量,因此,取放机构会在传热件的作用下进行控温(升温或降温),从而保证了晶圆在取放机构上转移时不会出现温差变化,即晶圆转移到另外一个晶圆处理设备中后,控温机构
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210378984 U
(45)授权公告日
2020.04.21
(21)申请号 20192
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