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一种半导体装置包括半导体层结构和形成在半导体层结构中的栅极沟槽中的栅极。栅极沟槽具有底表面,该底表面包括处于第一水平处的第一部分和处于与第一水平不同的第二水平处的第二部分。一种形成半导体装置的方法包括提供半导体层结构、将第一栅极沟槽蚀刻到半导体层结构中、将第二栅极沟槽蚀刻到半导体层结构中以及执行到第二栅极沟槽的底表面中的离子注入。第二栅极沟槽比第一栅极沟槽深,并且第二栅极沟槽的至少一部分连接到第一栅极沟槽。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116711080 A
(43)申请公布日 2023.09.05
(21)申请号 202180081687.4 (74)专利代理机构 中国贸促会专利商标事务所
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