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本实用新型公开了基于太阳电池制造工艺的硅片表面抑制氧化系统,包括新风系统、臭氧过滤器;所述新风系统内沿空气输送方向依次设有初效过滤器、空调系统、中效过滤器;所述新风系统一侧设有末端带高效过滤器的输气管;所述高效过滤器下方设有烘干槽的车间;所述烘干槽一侧设有末端连接有烘干风机的烘干排气口,所述烘干风机上方设有末端带烘干高效过滤器的烘干输气管;所述的臭氧过滤器安在中效过滤器与高效过滤器之间、烘干输气管与烘干高效过滤器之间。本实用新型的有益效果是:通过臭氧过滤器,充分保证硅片表面不被臭氧氧化;通过多个
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210303181 U
(45)授权公告日
2020.04.14
(21)申请号 20192
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