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一种多级可调的椭偏测厚仪,包括底座、试验台、激光器套筒、激光器、起偏器和检偏器,底座上设置试验台,试验台的一端开设两道平行的滑槽,激光器套筒的下部为固定座,上部为圆柱套筒,激光器套筒的固定座两侧开设螺纹孔,激光器套筒通过螺钉连接在试验台的滑槽上,试验台与激光器套筒的固定座之间垫有橡胶垫圈,激光器固定在激光器套筒上部的圆柱套筒内,激光器的出光口设置有光栅,光栅的出光一侧设有补偿器,本实用新型的起偏器的入射角度可通过齿轮组合调节,检偏器通过可旋转的立板和顶板调节角度,使得检偏器不仅可以平行于起偏器,
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210293125 U
(45)授权公告日
2020.04.10
(21)申请号 20192
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