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一种便于排杂的多晶硅铸锭炉结构.pdf

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本实用新型涉及多晶铸锭炉领域内一种便于排杂的多晶硅铸锭炉结构,包括炉体,所述炉体内设有隔热笼,隔热笼的内部设有热交换平台,所述热交换平台上设置有坩埚,所述隔热笼内周设有加热器,所述隔热笼外周设有石墨保温罩,所述石墨保温罩的顶部开设有若干用于内部结构安装的安装孔,所述石墨保温罩侧向的上部低于坩埚上口边缘的位置设有若干排杂孔,所述排杂孔的最大孔径为3~6cm,所述排杂孔的位置避开隔热笼的笼骨部位并与石墨保温罩外侧的炉体内腔连通。本实用新型的便于排杂的多晶硅铸锭炉结构,通过排杂孔及时的将融化及长晶时产

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210262077 U (45)授权公告日 2020.04.07 (21)申请号 20192

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