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本实用新型公开了一种管式PECVD设备电极对接装置,包括第一对接电极和第二对接电极,第一对接电极包括第一电极座和第一安装板,第一电极座上穿设有正电极头、接地电极头和负电极头,第二电极座包括第二电极座和第二安装板,第二电极座设有三个电极头接入孔,正电极头、接地电极头和负电极头的一端插设于各电极头接入孔内,另一端均具有第一接线端,各电极头接入孔远离各电极头的一端设有第二接线端。本实用新型连接电极杆的第一电极座随着推舟滑台做直线运动,最终与连接射频电源的第二电极座连接,从而实现放电功能,该电极对接装置
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210237773 U
(45)授权公告日
2020.04.03
(21)申请号 20192
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