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扩散工艺培训初次 第一页，共十一页，2022年，8月28日 * 1.1.在硅片表面产生具体掺杂原子的数量（浓度） 1.2.在硅片表面下的特定位置处形成PN结 1.3.在硅片表面层形成特定的掺杂原子（浓度）分布 1、扩散的目的 第二页，共十一页，2022年，8月28日 2.PN结的制造 PN结是太阳能电池的心脏。需要强调指出，PN结是不能简单地用两块不同类型（p型和n型）的半导体接触在一起就能形成的。要制造一个PN结，必须使一块完整的半导体晶体的一部分是P型区域，另一部分是N型区域。也就是在晶体内部实现P型和N型半导体的接触。 第三页，共十一页，2022年，8月28日 3.太阳电池磷扩散方法 3.１．三氯氧磷（POCl3）液态源扩散 3.２．喷涂磷酸水溶液后链式扩散 3.３．丝网印刷磷浆料后链式扩散 本公司目前采用的是第一种方法。 第四页，共十一页，2022年，8月28日 POCl3液态源扩散方法具有生产效率较高，得到PN结均匀、平整和扩散层表面良好等优点，这对于制作具有大面积结的太阳能电池是非常重要的。 POCl3无色透明液体，具有刺激性气味。如果纯度不高则呈红黄色,在潮湿空气中发烟,有毒性。 第五页，共十一页，2022年，8月28日 4. 扩散原理 POCl3在高温下（600℃）分解生成五氯化磷（PCl5）和五氧化二磷（P2O5），其反应式如下： 5POCl3 = 3PCl5 + P2O5 有O2存在的情况下，PCl5会进一步分解成P2O5并放出氯气（Cl2）其反应式如下 ： 4PCl5 + 5O2 = 2P2O5 + 10Cl2 生成的P2O5在扩散温度下与硅反应，生成二氧化硅（SiO2）和磷原子，其反应式如下： 2P2O5 + 5Si = 5SiO2 + 4P 第六页，共十一页，2022年，8月28日 5. 扩散装置示意图 大量的杂质气体进入密闭空间（扩散炉） 杂质气体在扩散炉内扩散（气相扩散） 因为进入的杂质气体为N型杂质原子，硅材料内部为P型杂质原子，因为浓度的关系，发生扩散过程 因为扩散到晶圆内部的N型杂质原子数量高于第一层中P型原子数量，形成N型导电层 发生从第一层向第二层的扩散 同样，第二层中的N型杂质的数量高于P型，使第二层转变为N型 向深处继续扩散 扩散炉管 第七页，共十一页，2022年，8月28日 操作步骤 进炉 恒温 磷扩散 恒温推进 出炉 冷却 运行时间(min) 气体 N2 /O2 N2/ O2 N2 /O2/小N2 N2/ O2 N2/O2 N2/ O2 流量 slm 扩散工艺步骤 第八页，共十一页，2022年，8月28日 * 1.保持良好的培训教学秩序,是优秀员工的一种表现,因为我们的同事还要更好的了解赛维LDK的企业文化; 2.自人类发明手机以来,手机有一种最大的功能我们没有用到,大家想不想知道这个功能是什么?振动;如果你觉得这个步骤比较麻烦,那你也在按住你手机右边这个红色的按键,只要你一直按下去,你将会一个非常奇怪的现象出现,那就是关机; 3.认真做好笔记,因为我们在培训之后还会有考试;