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本实用新型公开了一种便于清洁的气相沉积炉,涉及气相沉积技术领域。本实用新型包括气相沉积炉主体、第一置物盒和第二置物盒,气相沉积炉主体内侧卡接有减速电机,气相沉积炉主体内侧一端卡接有第一置物盒,第一置物盒一端贯穿卡接有第一防尘网,第一置物盒内侧一端贴合有刮刀,气相沉积炉主体内侧相对于第一置物盒另一端卡接有第二置物盒,第二置物盒内侧插接有沉积板,第二置物盒一侧设置有沉积桶。本实用新型通过气相沉积炉主体、第一置物盒和第二置物盒,解决了现有的气相沉积炉的炉体虽能够进行分离清洗,但由于炉体体积较大,且清洗
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219449861 U
(45)授权公告日 2023.08.01
(21)申请号 202223544318.5
(22)申请日 2022.12.22
(73)专利权人 弘元能源科技(包头)有限公司
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