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本发明提供一种大角度运动末端执行机构,包括:第一末端执行器以及第二末端执行器;第一传动组件以及第二传动组件,第一传动组件包括第一空心转轴,第二传动组件包括第二空心转轴,第二空心转轴套设于第一空心转轴上,第一末端执行器以及第二末端执行器分别与第一空心转轴以及第二空心转轴相连;第一限位结构,第一限位结构包括开设于第一末端执行器及第二末端执行器上的第一弧形限位槽以及第二弧形限位槽,及两端分别活动设置于第一弧形限位槽以及第二弧形限位槽的活动销;本发明解决了现有技术中的末端执行机构无法提供越来越复杂的半导
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116476106 A
(43)申请公布日 2023.07.25
(21)申请号 202310491328.7
(22)申请日 2023.04.28
(71)申请人 中芯智达半导体科技(上海)有限公
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