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本实用新型涉及硅棒清洁技术领域,特别涉及一种硅棒表面清洁装置,包括清洁件、上表面打磨装置、摆臂组件、收放卷轴组件和酒精罐组件,所述清洁件通过收放卷轴组件安装于基座总成上,所述摆臂组件安装于基座总成上并与清洁件相连;所述上表面打磨装置安装于基座总成上,所述基座总成上安装有电机、气刀和酒精喷头。本实用新型通过两个夹紧气缸驱动输送底座将硅棒夹紧,输送电机和输送同步轮组带动硅棒向清洁装置一侧进行移动,然后分别通过气刀吹去灰尘从而除静电,上表面打磨装置进行打磨,酒精喷头喷洒酒精,无纺布材质的清洁件进行擦拭
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214289767 U
(45)授权公告日 2021.09.28
(21)申请号 202121918209.8
(22)申请日 2021.08.17
(73)专利权人 常州华数锦明智能装备技术研究
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