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ICS 29.045
CCSH 83
YS
中华人民共和国有色金属行业标准
YS/TXXXX—XXXX
化学气相沉积硫化锌晶体
Chemical vapor deposition of zinc sulfide crystals
(报批稿)
XXXX -XX -XX 发布 XXXX -XX -XX 实施
中华人民共和国工业和信息化部 发 布
YS/T XXXX-XXXX
前 言
本文件按照GB/T 1.1-2020 《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定
起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由全国有色金属标准化技术委员会 (
SAC/TC243)、全国半导体设备和材料标准化技术委员
会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)提出并归口。
本文件起草单位:山东有研国晶辉新材料有限公司、云南驰宏国际锗业有限公司、国合通用测试评
价认证股份有限公司、广东先导稀材股份有限公司、厦门万明电子有限公司、有研国晶辉新材料有限公
司、云南临沧鑫圆锗业股份有限公司。
本文件主要起草人:李冬旭、魏乃光、杨建纯、曹波、崔丁方、石红春、赵传星、刘潇涛、应常
建、刘红、朱赞芳、路淑娟、黎建明、于鹏涛、黄景明。
I
YS/T XXXX-XXXX
化学气相沉积硫化锌晶体
1 范围
本文件规定了化学气相沉积硫化锌晶体的牌号及分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包
装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。
本文件适用于化学气相沉积法(CVD)制备的硫化锌晶体(包括标准硫化锌和多光谱硫化锌),透
过波长范围为1μm~14μm。
2 规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,
注日期的引用文件,
仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本 (
包括所有的修改单)适用于本
文件。
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JC/T 185 光学石英玻璃
3 术语和定义
本文件中没有需要界定的术语和定义。
4 牌号及分类
4.1 牌号
化学气相沉积硫化锌晶体的表示方法为:
CVD-□-ZnS
表示硫化锌等级,M表示多光谱硫化锌,S表示标准硫化锌
CVD表示化学气相沉积法
4.2 分类
化学气相沉积硫化锌晶体按透射性能分为标准CVD硫化锌和多光谱CVD硫化锌。
5 技术要求
1
YS/T XXXX-XXXX
5.1 光学性能
5.
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