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本发明公开了一种高频率紧凑型三分量测力装置,属于高速微加工技术领域。其具体包括:六棱凸台基板,为一体左右对称结构,其上表面的内切圆上均匀分布有多个通孔用于固定待测工件,其沿轴向向下开有圆柱形空腔,空腔底面沿圆周均匀分布有三个定位凹槽,在靠近定位凹槽的六棱凸台基板侧边上开有过线圆孔,过线圆孔的轴线平行且高于定位凹槽中心和空腔底面圆心的连线;环型力敏传感元件,其外形匹配定位凹槽,定位凹槽用于安装定位环型力敏传感元件;过线圆孔用于穿过环型力敏传感元件的信号连接线;柱状切边盖板,其为圆柱形盖板,盖在圆柱
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116460662 A
(43)申请公布日 2023.07.21
(21)申请号 202310434253.9
(22)申请日 2023.04.18
(71)申请人 华中科技大学
地址 430074
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