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本实用新型属于半导体技术领域,公开了一种圆度检测治具,圆度检测治具包括检测盘和环形保护垫,检测盘上设置有检测凹槽,检测凹槽用于检测靶材环件的圆度是否合格;环形保护垫设置于检测凹槽内且延伸至检测凹槽的端面上,环形保护垫朝向检测盘的侧面与检测盘的表面贴合设置。本实用新型提供的圆度检测治具,将靶材环件对准检测盘的检测凹槽进行放置,如靶材环件放入置检测凹槽内,则靶材环件的圆度合格,如靶材环件无法放入置检测凹槽内,则靶材环件的圆度不合格,方便快捷,且环形保护垫的设计,有效避免靶材环件与检测盘直接接触,进而
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219390809 U
(45)授权公告日 2023.07.21
(21)申请号 202320652192.9
(22)申请日 2023.03.29
(73)专利权人 宁波江丰电子材料股份有限公司
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